반도체 장비용 전기 슬리프 링

전기 슬리프 링은 반도체 장비의 고품질 정밀 회전 핵심 부품으로 자동 생산을 위해 특별히 설계되었습니다.그리고 반도체 산업에서 높은 신뢰성 운영 조건360°의 연속적 회전 하에서, 그것은 힘의 안정적인 전송, 인코더 신호, 그리고 다양한 민감한 신호를 보장합니다.중앙에 구멍이 있고 선택적으로 공기 또는 수압 회전 관절이 있는이 통합 솔루션은 웨이퍼 가공, 포장, 테스트,그리고 자동화 단계.

반도체 생산 과정 전체의 핵심 응용 프로그램

전기 슬리프 링은 반도체 웨이퍼 제조, 칩 포장 및 완제품 테스트의 전체 생산 과정에 널리 사용됩니다.그리고 주요 반도체 장비의 회전 메커니즘에 잘 적합합니다..

주요 응용 프로그램:

1프론트엔드 웨이퍼 제조

광 저항 코팅 및 개발자, 에칭 기계, PVD / CVD 얇은 필름 퇴적 시스템 및 CMP 기계와 같은 장비에서 사용됩니다. 회전 턱, 목표 단계 또는 닦기 머리에 이상적입니다.소파기 운반용으로 구멍이 뚫린, 진공 선과 가스 파이프 라인.

2백엔드 패키징 및 테스트

웨이퍼 조각, 다이 접착, 와이어 접착 및 형성 기계에 적용됩니다. 회전 인덱싱 테이블과 픽 앤 플래스 메커니즘을 지원합니다.진공 선과 시험 또는 구동 케이블을 위한 구멍이 있는.

3전체 프로세스 검사 및 분류

웨이퍼 탐사기, 칩 시각 검사 시스템 및 전기 테스트 장비. 회전 작업 테이블 또는 기말 시스템에서 고 신뢰성 신호 전송을 보장합니다.렌즈 중점화 샤프트 또는 프로브 드라이브를 위한 구멍이 있는.

4자동화 및 보조 장비

웨이퍼 AGV 회전 엘리베이터, 생산 라인 로봇 및 FOUP 처리 시스템에서 사용됩니다. 원활한 전력, 신호,그리고 유체 전송.